原子扩散的驱动力是组元的化学势梯度。

原子扩散是高温下原子的热运动打破了晶体的位置束缚而产生的换位与移动。根据状态图，通常在高温发生的相变和析出过程中，铁原子和合金原子通过扩散改变相结构和成分，这就是扩散相变。

膜两侧某溶质的浓度差构成该溶质的浓度梯度，此浓度梯度亦即该溶质的化学势梯度。